TOC降解器
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简介
超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解至关重要,采用UV-185nm低压高能紫外技术,并结合UV-254nm紫外线杀菌器,能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化,在水中产生羟基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以降低水中的TOC含量。
去除TOC的工作原理
TOC降解器中装有可产生185nm波长的紫外灯管,当纯水用185nm紫外光直接照射时,水中TOC与光子直接碰撞的几率很低,靠水中TOC杂质直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困难的,所以可以认为185nm紫外光降解水中TOC时185nm紫外光先与水作用,引起水的均裂反应, 因而185nm紫外光照射水时,在185nm紫外光所能照射的范围内可以产生中间体HO-,H·和eaq(水合电子),这些活性中间体再与水中有机物发生亲电、亲核或电子转移反应,引起水中有机物的降解和矿化,并使其TOC浓度降低。
为什么会使用185nm波长
根据中国目前超大规模集成电路的生产和研究水平的需要,为使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,国内首先在高纯水设备中用185nm紫外线照射,使水中TOC降低到小于3μg/L,解决了兆位电路及大直径硅片用高纯水的关键技术难题。若不用185nm紫外线照射,目前高纯水中TOC较好的只能做到20~50μg/L。
185nm紫外线是一种波长较短、能量较高的超紫外线,其能量相当于6.7eV,而一般用于高纯水中的为254nm波长的紫外线,其能量相当于4.88eV,对于这两种紫外线去除有机物,效果有所不同,下图列出某些有机物化学键的键能及相应的波长。
TOC降解器图片
化学键的键能表
化学键 | 键能 | 化学键 | 键能 | ||||
/kj.mol-1 | /eV | 波长/nm | /kj.mol-1 | /eV | 波长/nm | ||
C-C C=C C≡C C-F C-CI C-H C-O | 347.5 | 3.6 | 344 335 | C-O C-N C-N C-S N-O O-H Si-O | 728.5 467.1 | 7.6 | 163 |
根据上图所列各种化学键,若用185nm紫外线,除C≡C,C=O键外,其余化学键的键能均小于6.7eV,均能被破坏。若用254nm紫外线,其键能为4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O键的键能均大于4.88eV,都不能被破坏,而O-H、Si-O键的键能与254nm紫外线接近,也不易被完全破坏,因此许多有机物在185nm紫外线下被破坏,而在254nm波长的紫外线下不能被破坏,这就是185nm紫外线更能有效地降低水中的TOC的道理。利用这一键能理论,以185nm紫外线照射高纯水应降低TOC,使兆位电路用水TOC下降到小于3μg/L,并在中国成功地用于ULSI和直径200mm硅片及硬盘磁头生产中,效果很好。
主要功能及特征
a、用于超纯水制配中TOC降解。
b、有超高的杀菌功效。
c、紫外线TOC降解设备必须安装精制混床,以保证不增加新的TOC及恢复水中的电解氯。
d、TOC降解的幅度取决于水中TOC的构成情况及紫外线TOC降解设备剂量设计。紫外线TOC降解设备能够使TOC降到10ppb。
结构:承压筒体
材质:筒体:304材质。316L材质可选
现场
应用:EDI生产线
客户:通用电气水处理技术(无锡)有限公司
核心优势:脱除TOC效率大于60%,性能稳定可靠
概述:处理水量15T/H
项目概况:通用电气公司(GE)是多元化服务性公司,世界500强之中位居前列。
检验生产调试包装
不锈钢材质分析及检验
沛德水处理公司在采购TOC降解器原材料后,检测部的检测人员都会对原材料进行严格检测。沛德水处理高价购买(20万)的手持式合金分析仪,具有革命性的GOLDD技术,极高的灵敏度与检测精度。购买手持式合金分析仪可谓是一种昂贵的投资,沛德水处理注重产品质量控制,因此材料检验一定要好的检测设备。
焊接效果
焊接
机械抛光
电解抛光
亚光处理
控制箱的制作
水质分析检查
TOC降解器出货包装