太赫兹系统有连续波和脉冲波两种模式。在连续波系统(CW)中,一个半导体被激发产生两束太赫兹的红外光束;在脉冲波(PW)系统中,一个飞秒(10-15s)光脉冲激发半导体产生太赫兹脉冲。连续波系统通常更加昂贵,脉冲波系统能够提供材料特性和深度等更加详细的信息。脉冲波系统可通过发送一个频段的频率(高达5THz)来获取材料信息,而连续波系统只能通过单一频率获取信息。