冷壁罐式炉

冷壁罐式炉，温度可达 2400 ℃

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VHT 系列的紧凑型罐式炉为电控加热箱式炉，采用石墨、钼、钨或 MoSi2 加热装置。无论是通过不同的加热方案还是各种附件，这些罐式炉均可以实现技术要求严格的客户工艺流程。

真空气密罐既可以在保护和反应气体环境下也可以根据窑炉的规格在10-5 mbar的真空环境下进行热处理。基本型窑炉适用于在不可燃的保护或反应气体或真空条件下的运行。H2系统允许在氢气或其它可燃气体环境下操作。该系统的关键在于经过认证的安全工序包，它可以随时确保安全运行并在发生故障时调用导入相关的紧急程序。

不同的加热规格

通常情况下以下的可变类型可以满足工艺要求：

VHT ../..-GR 带有石墨隔热材料和加热装置

· 可用于保护和反应气体或真空条件下的工艺

· 最高温度 1800 , 2200  或 2400 （VHT 40/.. - VHT 100/..）

· 根据所采用的泵型不同，最大真空可达 10-4 mbar

· 石墨隔热材料

VHT ../..-MO 或 VHT ../..-W 带钼或钨加热装置

· 可用于保护和反应气体或高真空条件下的工艺

· 最高温度 1200  , 1600  或 1800  （见表）

· 根据所采用的泵型不同，最大真空可达 10-5 mbar

· 由钼和钨辐射片各自制成的隔热材料

VHT ../..-KE 带有纤维隔热材料和加热装置，通过二硅化钼制成的加热元件加热

· 可用于保护和反应气体或空气或真空条件下的工艺

· 最高温度 1800

· 根据所采用的泵型不同，最大真空可达 10-2 mbar（可达 1300 ）

· 高纯氧化铝纤维制成的隔热材料

· 只使用根据TRGS 905标准分类为不致癌的一类或二类纤维材料

基本型

· 标准大小为 8 - 500 升炉腔

· 水冷式不锈钢制气密炉罐

· 框架结构由牢固的不锈钢型材制成，保养方便，可轻易拆卸的不锈钢面板

· VHT 8 炉型的炉膛，配有滚轮，炉子可便捷地移动

· 带有手动截止阀的冷却水分配器，自动流量监视仪，开放式冷却水系统

· 可调节的冷却水回路，带有流量和温度显示屏以及过温保护装置

· 开关设备和控制器安装在炉膛内

· 带有P470型控制器的工艺控制器

· 带有可控制断电温度并用于符合 EN 60519-2 标准的热防护等级 2 的温度选择限制器

· 工艺气体和真空功能的手动操作

· 用于工艺气体的手动供气系统（N2、Ar 或不易燃的混合气体），带有可调节流量

· 带有手动阀的旁通系统，用于炉腔快速填充或冲洗

· 带有溢过流阀门的手动气体排出口（相对压力为 20 mbar）用于过压操作

· 带有球阀的一级转阀泵，用于预抽真空并且用于在 5 mbar的粗真空下进行热处理

· 用于可视化压力监控的压力计

· 明确的应用请遵守操作手册

附加装备：外壳/加热器

· 炉膛可选择隔离分区用于通过小门开口装入（VHT 8）

· 升降门

· 专用加热方案

附加装备：气体管理系统

· 用于第二种工艺气体（N2、Ar 或不易燃的混合气体）的手动供气系统，带旁路，流量可调

· Mass流量调节器，用于变换的流量并与第二种工艺气体生成混合气体（仅适于自动工序包）

· 钼制、钨制、石墨或 CFC 制内部工艺盒，对于排胶工艺尤其值得推荐。带有直接的进气口和出气口的工艺盒被安装在炉膛内，用于改善温度的均匀性。 排胶过程产生的废气将会直接从内部工艺盒中排出。排胶后供气路径的改变导致在烧结过程中得以获得清洁的工艺气体气氛。

附加装备：真空泵

· 带有球阀的二级转阀泵，用于预抽真空并且用于在良好的真空下进行热处理（可以达到102 mbar），包含电子式压力传感器

· 带有截止滑阀的涡轮分子泵用于 预抽真空和高真空下的热处理（达到10-5 mbar），包括电子式压力传感器和增压泵

· 其他要求的泵

· 分压力运行：在控制负压时导入保护气体（仅适于自动工序包）

附加装备：冷却装置

· 带有密闭冷却水回路的热交换器

· 直接冷却参

附加装备：控制器和记录仪

· 带有显示屏的装载热电偶

· 对于2200 的炉型而言，通过高温计在高温范围内测量温度，且C型热电偶带有自动取出装置，确保了在较低温度范围内很好的控温效果（从VHT 40/..-GR型起）

· 带有 H3700 型工艺控制装置的自动工序包

· 12“ 图像触摸面板

· 通过触摸面板输入温度、加热率、供气、真空等所有工艺数据

·将所有工艺相关的数据显示在工艺流程图上

· 用于一种工艺气体（N2、Ar 或不易燃的混合气体）的自动供气系统，流量可调

· 通过程序采用工艺气体对炉腔冲洗和填充的旁通阀

· 自动预设和后置程序，包括用于安全运行的泄漏测试

· 带有折叠阀和溢过流阀的自动气体出口（相对压力为 20 mbar）用于过压操作

· 绝对和相对压力的压力传感器

· 通过 VCD 软件包对工艺进行控制和记录，或利用纳博热控制中心 NCC 进行监控、记录和控制

用于惰性气体排胶的工艺盒

某些工艺要求在不易燃的保护或反应气体条件下对炉料进行排胶。对于这些工艺我们一般建议使用热壁气密罐式炉（参见NR ..或SR ..型）。在此类气密罐式炉中可确保最大限度地避免冷凝水沉积。

如果在 VHT 型电炉中也不能避免在加热过程中有少量剩余胶合剂泄漏的话，电罐式炉应该有相应的配置。

为炉膛配备一个附加的工艺盒，它有一个直接通向废气火炬的排气口，废气可由该排气口直接排出。 采用该系统可明显减少排胶时所产生的废气对炉膛所造成的污染。

根据废气的成份，废气段可配置不同的选项

· 用于燃烧废气的废气火炬

· 用于分离胶合剂的冷凝水阀

· 视采用的工艺，通过清洗器进行废气后处理

· 加热的废气出口用于防止冷凝水沉积在废气段中